文章摘要: 半導(dǎo)體器件一般來說,這些半導(dǎo)體材料是硅、鍺或砷化鎵,可用作整流器、振蕩器、放大器、光探測器和其他設(shè)備。為了區(qū)別于集成電路,它有時被稱為分立器件。大多數(shù)雙端器件(晶體二極管)的基本結(jié)構(gòu)是一個PN結(jié)。利用不同的半導(dǎo)體材料,采用不同的工藝和幾何結(jié)構(gòu),
半導(dǎo)體器件一般來說,這些半導(dǎo)體材料是硅、鍺或砷化鎵,可用作整流器、振蕩器、放大器、光探測器和其他設(shè)備。為了區(qū)別于集成電路,它有時被稱為分立器件。大多數(shù)雙端器件(晶體二極管)的基本結(jié)構(gòu)是一個PN結(jié)。利用不同的半導(dǎo)體材料,采用不同的工藝和幾何結(jié)構(gòu),開發(fā)了各種不同功能和用途的晶體二極管,可用于產(chǎn)生、控制、接收、轉(zhuǎn)換、放大信號和轉(zhuǎn)換能量。
硅片可以加工成各種電路元件結(jié)構(gòu),成為具有特定電氣功能的集成電路產(chǎn)品。在半導(dǎo)體器件切割過程當(dāng)中,在其上形成各種電路,經(jīng)過表層處理后,切割晶圓制造芯片。隨著國內(nèi)外市場對硅片需求的快速增長,硅片的市場的需求也呈現(xiàn)快速增長的趨勢。
其中,半導(dǎo)體器件切割是制造過程當(dāng)中必不可少的工序。在晶圓制造中,它是一個后處理。將帶有成品芯片的整個晶圓按照芯片尺寸劃分為單個芯片(die),稱為晶圓劃片(wafer dicing)。
在半導(dǎo)體器件切割過程當(dāng)中,由于強(qiáng)大機(jī)械力的作用,半導(dǎo)體晶片的邊緣容易出現(xiàn)微裂紋、崩刃和應(yīng)力集中點(diǎn)。半導(dǎo)體晶圓表層也有不均勻的應(yīng)力分布和損傷,這些缺點(diǎn)造成半導(dǎo)體晶體。在循環(huán)制造中,會產(chǎn)生大量的次生缺點(diǎn),如滑移線、外延堆垛層錯、滑移位錯、微缺點(diǎn)等,也是半導(dǎo)體晶片和芯片易開裂的重要因素。
半導(dǎo)體晶圓的損傷和應(yīng)力問題已成為微電子產(chǎn)業(yè)持續(xù)發(fā)展的障礙,半導(dǎo)體器件切割工藝戰(zhàn)勝了線鋸的搖擺,提高了穩(wěn)定性,可以減少硅片的表層損傷,特別是粗糙的表層缺點(diǎn)。它有著重要的作用,但挑選性能優(yōu)良的線切割液是減少或避免上述問題的重要途徑。
如今半導(dǎo)體器件切割為什么這么受歡迎?
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