離子源供應(yīng)商：離子源的原理

??????? 離子源供應(yīng)商 等離子體是指被激發(fā)的氣體達(dá)到一定程度的電離（> 10-4），并且該氣體處于導(dǎo)電狀態(tài)。 這種狀態(tài)下的電離氣體是由大量接近自由運(yùn)動(dòng)的帶電離子組成的系統(tǒng)，因此總體上很精確。 中性。 粒子運(yùn)動(dòng)和電磁場（粒子之間的外部電場和自洽場）是不可分割的。 相互作用的電磁力是一個(gè)遠(yuǎn)程力，它使等離子體表現(xiàn)出集體行為的特征，即電離氣體中的每個(gè)帶電離子其運(yùn)動(dòng)都會(huì)影響其周圍的帶電離子，并且還受到其他離子的約束。 帶電粒子。 由于電離氣體的總體行為是電中性的，也就是說，電離氣體中正電荷和負(fù)電荷的數(shù)量相等，因此該氣體的狀態(tài)為等離子體狀態(tài)，稱為等離子體。 由于它的獨(dú)特行為與固態(tài)，液態(tài)和氣態(tài)完全不同，因此也稱為物質(zhì)的第四態(tài)。

??????離子源是離子束濺射（IBS）和離子束處理（IBF）設(shè)備的關(guān)鍵組件。 離子束源目前主要包括考夫曼離子源，微波ECR離子源和RF離子源。 其工作原理是利用氣體放電產(chǎn)生等離子體。 等離子體由電子，離子和中性粒子組成，它們被拉成束并成為離子源。

??????離子源有兩個(gè)柵格（或三個(gè)柵格），分別是屏幕柵格和加速柵格。 在兩個(gè)電極之間施加電壓。 電壓的正極連接到屏蔽柵，負(fù)極連接到引線。 因此，在提取電極之間形成等離子體邊界和用于加速離子的電場。 離子從等離子發(fā)射表層發(fā)射后，它們會(huì)被電場加速，穿過小孔形成離子束，然后穿過中和器直接轟擊基板或目標(biāo)。 中和劑的目的是避免電荷在基材上積聚以排斥后續(xù)離子。