離子束加工：離子束加工的應(yīng)用

離子束加工利用具有較高能量的離子束撞擊材料表層以執(zhí)行不同處理時發(fā)生的沖擊效應(yīng)，濺射效應(yīng)和注入效應(yīng)。 由于離子束轟擊材料以逐層去除原子，因此可以達(dá)到納米級的加工精度。 離子束加工根據(jù)其技術(shù)原理和目的可分為三種：用于從工件上去除材料的蝕刻處理，用于對工件表層進(jìn)行鍍覆的電鍍處理以及用于表層改性的離子注入處理。 由于電子束和離子束易于控制，因此加工過程可以完全自動化，但是在電子束和離子束的聚焦和偏轉(zhuǎn)方面仍然有許多技術(shù)問題需要解決。

離子束加工的應(yīng)用：

??1.蝕刻處理：

??離子蝕刻用于加工陀螺儀空氣軸承和動壓馬達(dá)上的凹槽，具有高分辨率，精度和可重復(fù)性。

??離子束蝕刻的應(yīng)用的另一個方面是蝕刻高精度圖形，例如集成電路，光電器件和光學(xué)集成器件。

??太陽能電池的表層具有非反射紋理表層。

??離子束刻蝕還用于減薄材料和制造穿透式電子顯微鏡試件。

??2.離子束鍍膜處理：

??離子束涂層處理有兩種形式：濺射沉積和離子鍍。

??離子鍍可以鍍多種材料。 金屬或非金屬膜可以鍍在金屬和非金屬表層上。 也可以電鍍各種合金，化合物或某些合成材料，半導(dǎo)體材料和高熔點材料。

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