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射頻離子源基本介紹

發(fā)布時(shí)間:2023-03-23 14:45:11 來(lái)源:互聯(lián)網(wǎng) 分類(lèi):電氣知識(shí)

文章摘要: ? 離子源是使中性原子或分子電離并從中吸取離子束的設(shè)備。 隨著離子源技術(shù)的不斷發(fā)展,其在涂料中的應(yīng)用越來(lái)越廣泛,對(duì)離子源本身的要求也越來(lái)越高。 高。 離子源技術(shù)多種多樣,如何挑選合適的離子源已成為涂料應(yīng)用中的重要環(huán)節(jié)。今天小編就給大家講解下射頻

? 離子源是使中性原子或分子電離并從中吸取離子束的設(shè)備。 隨著離子源技術(shù)的不斷發(fā)展,其在涂料中的應(yīng)用越來(lái)越廣泛,對(duì)離子源本身的要求也越來(lái)越高。 高。 離子源技術(shù)多種多樣,如何挑選合適的離子源已成為涂料應(yīng)用中的重要環(huán)節(jié)。今天小編就給大家講解下射頻離子源基本介紹。

射頻離子源

??射頻離子源由射頻電源供電,并由匹配設(shè)備自動(dòng)匹配以產(chǎn)生等離子體,并且離子束在柵格的作用下被拉出。 流程如下:

??1.放電室的線(xiàn)圈在感應(yīng)耦合下產(chǎn)生等離子體。

??2.離子束和屏蔽柵通過(guò)電源連接,因此等離子體相對(duì)于地面處于正電位。 加速網(wǎng)格通過(guò)電源以負(fù)電位連接到地面。 通過(guò)屏幕過(guò)濾的離子束將被加速。

??3.在柵極的下游,電子通過(guò)中和器注入離子束中,形成電荷平衡。

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射頻離子源基本介紹

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