氣浮導(dǎo)軌的分類

氣浮導(dǎo)軌根據(jù)工作原理分為兩種基本類型：動(dòng)壓氣浮導(dǎo)軌和靜壓氣浮導(dǎo)軌。動(dòng)壓類型兩個(gè)表層相對(duì)于彼此移動(dòng)，并且間隙為楔形，并且間隙沿移動(dòng)方向逐漸變小。由于相對(duì)運(yùn)動(dòng)，氣體由于其粘性而被拖入楔形間隙中，從而產(chǎn)生壓力并形成動(dòng)壓懸架。靜壓類型是將外部壓縮氣體通過孔口引入間隙，并利用其靜壓將其懸掛?？卓诘墓δ苁窃陂g隙變化時(shí)調(diào)節(jié)間隙中的壓力。使氣浮導(dǎo)軌具有剛度。氣浮導(dǎo)軌是由導(dǎo)軌和溜板構(gòu)成的滑動(dòng)副，在氣浮導(dǎo)軌和溜板之間設(shè)置氣膜潤(rùn)滑。

開式靜壓氣浮導(dǎo)軌的左上角是平面型，右上角為平V型，左下角為雙三角型，右下角為平面回轉(zhuǎn)型。它們具有以下特征：

（1）承受正向載荷的能力非常大，承受偏載和傾覆力矩的能力很差，不可承受反向載荷；

（2）導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，易于制造和調(diào)節(jié)；

（3）當(dāng)確定導(dǎo)軌的尺寸時(shí)，氣腔壓力僅由載荷決定，因此，當(dāng)載荷較小時(shí)，氣膜剛度低。

總而言之，開式靜壓氣浮導(dǎo)軌適用于部分負(fù)載和傾覆力矩較小，負(fù)載均勻，水平放置或傾斜角度較小的場(chǎng)合。

閉式靜壓氣浮導(dǎo)軌的運(yùn)動(dòng)部件在運(yùn)動(dòng)方向上具有一個(gè)自由度，并且剩余的運(yùn)動(dòng)自由度受導(dǎo)軌的結(jié)構(gòu)限制，因此它們?cè)趲缀紊鲜情]合的。側(cè)導(dǎo)軌在外側(cè)的平導(dǎo)軌和側(cè)導(dǎo)軌在同一導(dǎo)軌兩側(cè)的平導(dǎo)軌雖有相同的氣腔數(shù)，但是后者比側(cè)前氣隙受熱變形的影響較小，并且可以戰(zhàn)勝可變節(jié)流器時(shí)側(cè)面氣腔過長(zhǎng)的缺點(diǎn)。菱形氣浮導(dǎo)軌的特色是加工面少，適用于載荷不太大，活動(dòng)部件不太長(zhǎng)或旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)的場(chǎng)合。

閉式靜壓氣浮導(dǎo)軌具有以下特色：

（1）承受正向和反向載荷，偏心載荷和傾覆力矩的能力比較強(qiáng)；

（2）氣膜的剛度比較高，因此對(duì)導(dǎo)軌本身結(jié)構(gòu)的剛度要求也比較高；

（3）導(dǎo)軌的制造和調(diào)整較為復(fù)雜；

（4）為減少功率損耗，閉式靜壓導(dǎo)軌一般采用不等面積氣腔結(jié)構(gòu)。

同時(shí)，根據(jù)安裝特性，氣浮導(dǎo)軌可分為平面封閉式，圓柱封閉式，重力平衡式和真空預(yù)緊式。

（1）平面封閉式：沿氣浮方向設(shè)計(jì)兩個(gè)相對(duì)的氣膜，以形成氣膜預(yù)緊力。適用于高精度，高剛性，高負(fù)荷的導(dǎo)軌。

（2）重力平衡式：結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，加工方便，但剛度低，用于載荷變化小的場(chǎng)合；

（3）真空預(yù)載型：使用壓力氣體產(chǎn)生浮力以形成懸浮狀態(tài)，并使用真空發(fā)生器產(chǎn)生真空以提高剛度。由于真空的吸收，該推力導(dǎo)向器具有雙向剛度，通過x，y雙向驅(qū)動(dòng)，可以使用單層結(jié)構(gòu)實(shí)現(xiàn)二維運(yùn)動(dòng)，即起始結(jié)構(gòu)具有封閉特征，改善工作臺(tái)的過程性能；

（4）圓柱封閉型：導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，但加工復(fù)雜。圓柱導(dǎo)軌的圓柱度和滑板的間隙是通過機(jī)械加工確定的，這需要高加工技術(shù)。負(fù)載能力小且剛度差，通常用于輕負(fù)載。